材料技術

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轉子,砂磨機
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轉子,砂磨機

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產品描述
參數

 

 

特性項目 碳化硅SiC
產品編號 KemaTek No. KMT-SSiC(R) KMT-SSiC KMT-SiSiC
顏色 Color 黑色
black
黑色
black
黑色
black
主要成分含量 Main Content Percentage - - -
主要特征 Main Characteristics 高阻高導熱、耐腐蝕
High Volume Resistivity,High Thermal Conductivity,and Corrosion Resistance
較高的高溫強度、耐腐蝕、好的熱導率
High Temperature Strength,High Chemical Resistance,Good Thermal Conductivity
耐磨、耐腐蝕
Good Chemical and Abrasive Resistance
主要用途 Main Applications 半導體設備部件
Semiconductor Equipment Parts
耐腐蝕件、密封件、耐高溫件
Semiconductor Equipment Parts, Sealing Parts,Anti-Heat Parts
耐磨件、耐腐蝕件
Abrasive and Corrosion Resistance Parts
密度 Bulk Density g/cc ASTM-C20 3.16 3.15 3.02
吸水率 Water Absorption % ASTM-C373 0 0 0
機械特性
Mechanical Characteristics
維氏硬度
Vickers Hardness(Load 500g)
GPa ASTM C1327-03 24.0 28.0 20.0
抗彎強度
Flexural Strength
MPa ASTM C1161-02c 450 380 250
抗壓強度
Compressive Strength
MPa ASTM C773 - 3900 -
楊氏模量
Young's Modulus of Elasticity
GPa ASTM C1198-01 420 410 330
泊松比
Poisson's Ratio
- ASTM C1198-01 - 0.14 -
斷裂韌性
Fracture Toughness
MPa·m1/2 ASTM C1421-01b
(Kevron notched beam)
- 4 -
熱學特性
Thermal Characteristics
線性膨脹系數
Coefficient of Linear Thermal Expansion
40~400°C ×10-6/°C ASTM C372-94 4.2 4.0 4.5
熱傳導率
Thermal Conductivity
20°C W/(m·K) ASTM C408-88 170 120 45
比熱
Specific Heat
J/(Kg·K)×103 ASTM E1269 - 0.65 -
抗熱沖擊能力
Thermal Shocking Resistance
°C Note 1 - - -
電學特性
Electrical Characteristics
體積電阻率
Volume Resistivity
20°C Ω·cm ASTM D257-99 106 102~106 -
介電強度
Dielectric Strength
KV/mm ASTM D149-97 - - -
介電常數
Dielectric Constant(1MHz)
- ASTM D150-98 - - -
介電損耗系數
Loss Tangent(1MHz)
×10-4 ASTM D150-98 - - -
化學特性
Chemical Characteristics
硝酸
Nitric Acid(60%)
重量損失(WT Loss) - - - -
硫酸
Sulphuric Acid(95%)
- - - -
氫氧化鈉
Caustic(30%)
- - - -

 

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