材料技術

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半導體卡盤
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半導體卡盤

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產品描述
參數

 

 

特性項目 氮化鋁AlN
產品編號 KemaTek No. KMT-AN180
顏色 Color 灰色
Gray
主要成分含量 Main Content Percentage 96%氮化鋁
96%AIN
主要特征 Main Characteristics 高熱導率、抗熱震性、優異的耐等離子體侵蝕性能
High Thermal Conductivity,Ecxellent Thermal Shocking Resistance,Excellent Plasma Resistance
主要用途 Main Applications 散熱部件、耐侵蝕部件
Heat Dissipation Parts,Plasma Resistant Parts
密度 Bulk Density g/cc ASTM-C20 3.30
吸水率 Water Absorption % ASTM-C373 0
機械特性
Mechanical Characteristics
維氏硬度
Vickers Hardness(Load 500g)
GPa ASTM C1327-03 10.0
抗彎強度
Flexural Strength
MPa ASTM C1161-02c ≥350
抗壓強度
Compressive Strength
MPa ASTM C773 2500
楊氏模量
Young's Modulus of Elasticity
GPa ASTM C1198-01 320
泊松比
Poisson's Ratio
- ASTM C1198-01 0.24
斷裂韌性
Fracture Toughness
MPa·m1/2 ASTM C1421-01b
(Kevron notched beam)
-
熱學特性
Thermal Characteristics
線性膨脹系數
Coefficient of Linear Thermal Expansion
40~400°C ×10-6/°C ASTM C372-94 4.8
熱傳導率
Thermal Conductivity
20°C W/(m·K) ASTM C408-88 180
比熱
Specific Heat
J/(Kg·K)×103 ASTM E1269 0.74
抗熱沖擊能力
Thermal Shocking Resistance
°C Note 1 -
電學特性
Electrical Characteristics
體積電阻率
Volume Resistivity
20°C Ω·cm ASTM D257-99 ≥1014
介電強度
Dielectric Strength
KV/mm ASTM D149-97 ≥15
介電常數
Dielectric Constant(1MHz)
- ASTM D150-98 9.0
介電損耗系數
Loss Tangent(1MHz)
×10-4 ASTM D150-98 5
化學特性
Chemical Characteristics
硝酸
Nitric Acid(60%)
重量損失(WT Loss) - -
硫酸
Sulphuric Acid(95%)
- -
氫氧化鈉
Caustic(30%)
- -

 

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